УкраїнськийІнженер-технолог із виробництва 200-міліметрових пластин одного разу простежив раптове падіння продуктивності штампа на рулоні гідропереплетених нетканих серветок, використаних на літографічній доріжці. Серветки виглядали чистими та м’якими, але підрахунок частинок рідини виявив проблему. У виробництві напівпровідників склоочисник для чистих приміщень не є товарною позицією; це технологічний витратний матеріал, який безпосередньо контролює частинки, іонні та органічні забруднення на поверхнях, які торкаються пластини.
Коротка відповідь на запитання щодо вибору така: підберіть матеріал склоочисника до класу ISO вашої чистої кімнати, етапу процесу та хімічного складу очищення, а потім перевірте кожну вхідну партію за допомогою частинок і даних, які можна витягти. Не вибирайте лише за брендом, кольором або ціною за упаковку.
Почніть із даних про чистоту, а не з ціни
Геометрії напівпровідників тепер досягають низького нанометрового діапазону, і одна частинка, розмір якої перевищує критичний розмір дефекту, може зруйнувати матрицю. Звичайні магазинні рушники або промислові серветки неприйнятні поблизу вафель, тому що вони виділяють волокна, виділяють іонні залишки та залишають нелеткий залишок після випаровування розчинника.
Чотири метрики визначають склоочисник напівпровідникового класу:
- APC (підрахунок частинок у повітрі): частки розміром 0,5 мкм і більше та 5,0 мкм і більше, викинуті в повітря, зазвичай повідомляються на квадратний метр. Нижче – краще.
- LPC (підрахунок рідких частинок): кількість частинок, що потрапляють у деіонізовану воду або IPA, повідомляється на мілілітр. Це найпряміший показник забруднення під час протирання розчинником.
- Іонні екстраговані речовини: хлорид, натрій, калій, сульфат та інші іони в ppm. Ці іони можуть викликати корозію та зрушення порогової напруги в пристроях.
- NVR (нелетючий залишок): залишок, що залишився після випаровування розчинника, виражений у мг на грам очищувача. Високий NVR залишає туман на оптиці та пластинах.
У таблиці нижче показано типові відносні рівні частинок у повітрі для звичайних груп матеріалів склоочисників. Значення є ілюстративними для порівняння; завжди запитуйте фактичний звіт про випробування у свого постачальника.
Неткані склоочисники виділяють на порядок більше частинок, ніж трикотажний поліестер; тримайте їх подалі від сходів, що примикають до пластин.
Порівняйте основні групи матеріалів
Ткані, трикотажні та неткані склоочисники з’являються в каталогах чистих приміщень, але в’язана конструкція є стандартом для критичного очищення напівпровідників. Поліефірний трикотаж з безперервної нитки вивільняє набагато менше частинок, ніж ткані або гідропереплетені структури, і він стійкий до розчинників і кислот, які використовуються при обробці пластин.
| Матеріальна сім'я | Типова конструкція | Найкраще підходить для | Головне обмеження |
|---|---|---|---|
| 100% поліестеровий трикотаж | Безперервна нитка в’язана, заклеєні краї | Очищення поряд із пластинами, клас ISO 4-6 | Нижча поглинаюча здатність, ніж мікрофібра |
| Субмікрофібра polyester | Тонка в'язка | Тонкоплівкові залишки та жирні ґрунти | Перевірте сумісність з агресивними розчинниками |
| Мікрофібра 80/20 | Мікроволокно з поліестеру/нейлону | Поверхні інструментів і генеральне прибирання | Нейлон може залишати залишки, якщо якість його низька |
| ESD трикотаж polyester | Поліестер з електропровідним волокном | Етапи процесу, чутливі до статичної електрики | Трохи вищий рівень частинок, ніж гладкий трикотаж |
| Гідропереплетений нетканий матеріал | Суміш целюлози та поліефіру | Технічне обслуговування, субфаб, невафельні зони | Висока генерація частинок; триматися подалі від вафельних зон |
Для облицювання пластин найбезпечнішою відправною точкою є 100% поліестеровий трикотаж із запечатаними краями. Такий продукт, як 1009LE Склоочисник для чистих приміщень дає контрольовану базову лінію; наше виробництво склоочисників здійснюється в чистих кімнатах класу 5 і 6 за стандартом ISO, і технічна команда може надати звіти про частинки та витягувані матеріали для кваліфікації.
Custom 1009LE Cleanroom Wiper Suppliers, OEM/ODM Factory - Suzhou Jujie Electron Suzhou Jujie Electron Co., Ltd є китайським постачальником склоочисників OEM/ODM 1009LE для чистих приміщень і фабрикою склоочисників для чистих приміщень 1009LE. Ми спеціалізуємося на... Переглянути продукт → Зіставте Wiper з класом ISO та зоною процесу
Одна і та сама фабрика може використовувати три різні склоочисники в трьох різних зонах. Правило просте: склоочисник має бути чистішим, ніж середовище, у якому він використовується, оскільки протирання може повторно відкладати частинки на поверхні.
- Клас ISO 4-5 (літографія, травлення, осадження): використовуйте 100% поліефірний трикотаж із запечатаними краями та задокументованим LPC 0,5 мкм і вище. Ніколи не використовуйте неткані склоочисники в цих зонах.
- Клас ISO 6 (доріжка, метрологія, EFEM, порти для навантаження): поліефірний трикотаж або ESD-трикотаж, залежно від статичної чутливості сходинки.
- Клас ISO 7-8 (обслуговування обладнання, підфабрикати, зони для одягу): склоочисники з мікроволокна або тканини зменшують витрати, забезпечуючи надійне очищення.
Коли робота передбачає видалення органічних залишків із зовнішніх поверхонь інструменту в зонах класу 7 ISO, Склоочисник з мікрофібри JW08522 вбирає значно більше рідини за вагою, ніж стандартний трикотаж, що скорочує час чищення та зменшує споживання хімікатів.
Custom JW-08522 Microfiber Wiper Suppliers, OEM/ODM Factory - Suzhou Jujie Elect Suzhou Jujie Electron Co., Ltd є постачальником склоочисника з мікрофібри JW-08522 у Китаї OEM/ODM та фабрикою склоочисника з мікрофібри JW-08522, ми спеціалізуємося ... Переглянути продукт → Лінійна діаграма нижче ілюструє, чому техніка та якість країв мають значення. Добре герметичний трикотажний склоочисник досягає низького стабільного стану після кількох рухів; сучасний склоочисник зберігає линяння на вищому рівні набагато довше.
Перші удари завжди вивільняють найбільше частинок; герметичний край знижує як піковий, так і стабільний рівень.
Герметизація країв: маленька деталь із великим ефектом
Обрізані краї є основним джерелом вільних волокон у склоочиснику для чистих приміщень. Коли лезо розрізає трикотажне полотно, воно відкриває петлі та залишає кінці ниток, які можуть від'єднатися під час витирання. Ущільнення краю за допомогою тепла, ультразвукового зварювання або лазерного плавлення захоплює ці нитки та не дає їм потрапити в процес.
- Використовуйте лазерні або ультразвукові запечатані краї для ISO класу 5 і чистих застосувань.
- Переконайтеся, що запечатаний край залишається гнучким; жорсткий край може подряпати оптику та поліровані поверхні.
- Огляньте край під збільшенням під час кваліфікації та вимагайте даних про краєві частинки.
Щоб дізнатися більше про те, чому відбувається виділення частинок навіть із справним склоочисником, див наш аналіз того, чому склоочисник чистих приміщень виділяє частинки під час протирання .
Додайте контроль електростатичного розряду там, де статика є ризиком
Склоочисник може накопичувати статичний заряд, коли він ковзає по поверхні. У виробництві пластин цей заряд може пошкодити оксиди затвора або притягнути частинки в повітрі саме до того місця, яке ви очищаєте. Склоочисники ESD складаються з невеликого відсотка електропровідного волокна, як правило, поліестеру з вуглецем, який відводить заряд на землю, коли оператор заземлений через ремінець і килимок.
Використовуйте антистатичний склоочисник у зонах перенесення пластин, портах завантаження, роботі з візирною сіткою, метрологічних інструментах і будь-де, де чутливий пристрій знаходиться непідтримуваним.
Коли ви кваліфікуєте склоочисники для цих зон, включіть у випробування клас ESD. The Склоочисник чистих приміщень ESD з тієї ж серії можна порівняти пліч-о-пліч зі стандартним в’язанням за показниками розпаду частинок і заряду.
Спеціальні постачальники склоочисників ESD, фабрика OEM/ODM - Suzhou Jujie Electron Co., Ltd Suzhou Jujie Electron Co., Ltd є постачальником ESD Wiper для OEM/ODM Китаю та фабрикою ESD Wiper. Ми спеціалізуємося на індивідуальних ESD Wiper та інших пр... Переглянути продукт → Перевірте постачальника, перш ніж взяти на себе зобов’язання
У технічному паспорті вказано лише те, що виміряв постачальник, а не те, що він контролює. Оскільки склоочисник торкається тих самих поверхонь, що й пластина, справжньою вимогою є консистенція партії до партії. Використовуйте цей контрольний список під час кваліфікації постачальника:
- Виробництво в чистій кімнаті: склоочисник слід випрати, висушити, запечатати та запакувати в чистій кімнаті, принаймні такій же чистій, як ваша власна виробнича зона.
- Простежуваність партії: кожна партія повинна містити номер партії та звіт про випробування, що охоплює APC, LPC, іонні екстракти та NVR.
- Сумісність із розчинниками: перевірте склоочисник у IPA, ацетоні та будь-якій змішаній хімії, яку ви використовуєте, перш ніж отримати дозвіл.
- Цілісність упаковки: поліетиленовий пакет у подвійних пакетах для чистих приміщень є мінімумом; додайте гамма-опромінення, лише якщо стерильність дійсно потрібна.
- Повідомлення про зміни: попросіть постачальника повідомити вас про будь-які зміни в сировині, мийному засобі, методі розрізання або процесі запечатування.
Якщо ви хочете перетворити ці кроки на офіційну специфікацію склоочисника, зв’яжіться з нашою групою витратних матеріалів для чистих приміщень з вашим класом ISO, розчинником для чищення та етапом процесу, і ми допоможемо вам підібрати клас склоочисника до профілю ризику.
Часті запитання
Чи можу я використовувати один і той самий склоочисник для літографії та обслуговування субфабрики?
Ні. Зберігайте склоочисники, що мають пластину, окремо від склоочисників для обслуговування. Гідропереплутані неткані склоочисники підходять для підлоги та рам обладнання, але їх ніколи не можна використовувати для літографії, травлення або будь-якої іншої ділянки, де відкрито пластини.
Чи є вища ціна ознакою кращої чистоти?
Не завжди. Ціна часто відображає упаковку та позицію бренду. Оцінюйте склоочисник за частинками та даними, що витягуються, а не за ціною; поліестеровий трикотаж із герметизованими краями середньої ціни може перевершити продукт преміум-класу за вашим специфічним хімічним складом.
Чи потрібні мені стерильні склоочисники в чистій кімнаті з напівпровідниками?
Стерильність не є головною проблемою у вафельних фабриках; кількість частинок є. Стерильні серветки є перш за все вимогою до фармацевтичного та медичного обладнання. Якщо ви обираєте стерильні серветки, переконайтеся, що метод стерилізації не погіршує структуру в’язки та не збільшує екстракції.
Як часто я повинен проходити повторну кваліфікацію після зміни постачальника?
Проходьте повторну кваліфікацію щоразу, коли постачальник змінює сировину, конструкцію, запечатування країв, миючий засіб або лінію пакування. Навіть зміна якості промивної води може суттєво змінити іонні екстракції. Задокументована повторна кваліфікація захищає процес і створює контрольний слід.
Прийняття остаточного рішення
Правильний склоочисник для чистих приміщень для виробництва напівпровідників — це той, який відповідає вашим технологічним обмеженням щодо частинок, іонів і залишків, відповідає класу ISO зони, стійкий до вашої очисної хімії та поставляється від постачальника, який може підтвердити консистенцію партії до партії. Вибирайте герметичні краї, де волокна становлять ризик, і конструкцію ESD, де статика є ризиком. Завдяки наведеній вище структурі купівля склоочисників стає контрольованим процесом, а не звичайною покупкою.
